2026慕尼黑上海电子生产设备展览会(PRODUCTRONICA CHINA)3月25日至3月27日在上海正式举办。本届展会以近100,000平方米展示面积、超1,000家参展企业的规模,聚焦汽车、工业、通讯电子、医疗电子等领域需求,覆盖电子生产全产业链。
展会期间举办的"宽禁带半导体先进封装技术产业链技术研讨与产业高峰论坛"上,合肥欣奕华智能机器股份有限公司(以下简称“合肥欣智”)VCTO及中央研究院院长何总发表了题为《高精、高速、高可靠性贴片设备助推先进封装产业化》的主题演讲,系统展示了合肥欣智在半导体固晶机领域的技术布局与核心优势。
当前,第三代半导体材料碳化硅、氮化镓等在高频、高功率场景的应用持续加速,传统封装技术已难以适配,逐渐暴露出寄生电感大、散热路径长、体积冗余等突出瓶颈,严重制约产业升级。在此背景下,嵌埋式封装技术凭借封装与基板一体化的核心优势,有望成为提升系统效率、强化散热性能的关键突破口,但该技术的规模化制造对设备的精度控制、热管理能力、力学调控水平等提出了更为严苛的要求。
何总在现场指出,高端固晶机作为应对嵌埋工艺挑战的核心装备,需同步具备基板平整吸附、高精度应力补偿、固晶力自适应控制、微米级高精度贴装、全流程系统感知等多项关键技术。针对行业核心需求,他现场展示了合肥欣智在半导体固晶机领域的清晰产品路线图:
FC/FO固晶机 SFC-9000:具备高精度贴装能力,固晶力范围宽,可灵活适配FC-CSP、FC-BGA、FC-Memory等多种应用场景;SFO-6000:具备更高精度的贴装能力,精准匹配FO-WLP、FO-PLP、InFO等高端封装应用需求。
两款设备均在高精度贴装、力控精度、量产稳定性、工艺适配能力、视觉检测效率、操作易用性及预测维护等方面形成系统化优势,并配套Sineva Predictive Maintenance(SPM)预防维护软件系统,为智能工厂建设提供强力支撑。
在高速贴片方面,合肥欣智已推出的SDP-5000高速直贴固晶机采用创新的直接贴片工艺,通过推杆将晶圆上的芯片直接贴装至基板,大幅缩短贴片动作距离,在原理上较传统取放流程更具效率优势。该设备在小尺寸芯片、大批量生产场景下,兼具单头设备的稳定性与超越多头设备的效率,支持C2W及C2P工艺路线,并可适配蘸助焊剂与贴DAF膜两种工艺方式,为客户提供完整解决方案。
通过系统性的技术展示与案例分享,何总的报告充分展现了合肥欣智在先进封装设备领域的综合研发实力与产业化服务能力。面向未来,合肥欣智将以高速、高精、高可靠的贴片设备为支点,持续助力我国先进封装产业高质量发展。