合肥欣奕华完成12英寸半导体AMHS系统开发及技术规格验证 各项性能指标达到国际先进水平
发布日期:2022-07-12浏览次数:562

据悉,近日泛半导体智能制造整体解决方案供应商合肥欣奕华智能机器股份有限公司(以下简称“合肥欣奕华”)已完成12inch半导体自动物料搬送系统AMHS(Automatic Material Handling System)的开发和Demo系统运营,并通过了技术规格验证。



芯片制造对工艺和环境要求很高——先进的12inch半导体工厂需要无尘洁净的环境,对整个工厂运营的自动化、智能化程度要求很高,这使得如何提高整个洁净工厂的空间利用率、减少机台的闲置时间、提升生产效率和产品良率成为其重点关心的问题。


据悉,12inch半导体制造工厂的AMHS系统由多种硬件设备(OHT、OHB、OHCV、Stocker、Lifter、NTB等)和软件系统(MCS、OCS、STKC等)组成。AMHS系统可以在洁净环境中实现复杂工艺间的无人自动搬送,提升运营效率的同时确保品质和良率。因此AMHS系统是12inch先进工艺晶圆厂大规模量产,提高生产效率的优先选择。随着行业技术发展,AMHS也将被大规模应用于12inch硅片制造、芯片制造、先进封装等各种半导体制造工序中。


合肥欣奕华AMHS系统的搬送效率、晶圆保护、动作精度等各项性能指标均达到国际先进水平,而且拥有路径搜索算法专利,具备大规模车辆智能调度能力。其中自主研发的高速OHT产品,技术规格和信赖性达到业界先进水平,可以在最高320m/min的高速行驶下平稳运行,同时高速行驶的振动数据、移栽速度、Vehicle间防冲撞控制等技术指标比肩业界顶尖供应商。合肥欣奕华OHT最大负载15公斤,可以对应多种制造工序的产品,而且具备单LOOP内同时控制200台Vehicle的配车能力。


“我们打造了占地面积400平米,有数百米轨道的庞大AMHS Demo系统,产品具备先进的技术和快速迭代能力。OHT和Stocker的Demo为了验证复杂系统的信赖性和技术指标,OHT设计了多种复杂轨道环境,包括直轨、转弯、分歧合流部等,进一步还特别设计并验证倾斜轨道爬坡功能、双层轨道、轨道自清洁功能以及搬送中的晶圆盒后盖异常实时侦测功能等。我们还对核心部品无线供电系统进行了冗余化设计,对软件系统的服务器进行自动切换的双机热备设计,大大增加了系统的信赖性。软件方面,OCS控制系统和MCS系统使用新型软件架构,支持海量大数据的快速采集和分析,支持不停机更新,其系统具备实时数据管理与统计、情景3D重现、Vehicle预约、FDC监控、路径规划算法的动态更新等创新功能。”合肥欣奕华AMHS产品负责人介绍到,“客户很关注我们在大规模量产制造下系统对应能力,为此我们特意搭建了Digital Twin(数字孪生)平台,不但能加快产品设计迭代的速度,还能构建与客户工厂相同的数字化虚拟工厂,模拟设备、系统和真实生产制造的环境,从而验证超大规模控制能力。我们提供了一个高信赖性、高效的12inch晶圆AMHS系统的整体解决方案。”据了解,开发团队拥有超过15年AMHS从业经验,深刻理解半导体AMHS产品应用及产品技术,目前已申请专利和软著二十多项。


合肥欣奕华具备完善的制造品质和供应链体系,面对半导体行业的品质和交期需求,专为AMHS系统生产准备的超4000平方米的高洁净车间已做好充分的量产准备,将为客户提供优质的产品、适合的客制化系统解决方案、极具竞争力的交付周期和快速反应的本土化服务。合肥欣奕华以产业报国为抱负,始终秉持对核心技术的尊重和对创新的坚持,秉持技术是产品生命力的理念,坚信只有开发创新的技术和平台,提供优质的产品和服务,才能为客户创造更大的价值,为中国半导体行业更快发展出一份力。(转自:北京日报)