产品特点

- 水氧含量＜1ppm

- 腔体漏率符合ISO 10648-2, Class1，＜0.05vol%/h

- 灵活的定制化设计

- 精准定位，精度±0.1mm

- 整线解决方案的定制

核心技术

- 腔室复合壳体结构

- 加强筋局正式布局

- 高精高稳系统控制

- 氮气循环系统

- 安全保证系统

- 信息智能化