产品特点

– 采用准分子激光器（ Excimer Laser ）

– 设备可对应2~8 英寸晶圆，全自动上下料

– 独特的光路、工艺设计，确保GaN低损伤

– 可进行整面剥离、选择性剥离、单颗剥离

– 高精度运动&对位系统，剥离精度微米级

– 光斑监控系统，确保激光稳定性及可追溯性

– Mask全自动切换，解决手动更换Mask痛点

核心技术

- 客制化光斑尺寸

- 高精度运动平台

- 在线光斑分析

- 全自动Mask切换模块