产品特点



- 兼容玻璃和wafer蒸镀

- Inline Type

- 标准化

- 模块化

- 成膜均匀性高

- 膜厚稳定性高

- 速率稳定性高

核心技术



- 蒸镀模拟技术

- 定制化产品,可配置线源、点源或电子束

- 具备Auto PID,蒸镀稳定,成膜均匀

- log分析技术

- 产品成熟,运营稳定



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