产品特点

– 兼容玻璃和wafer蒸镀

–  Inline Type

– 标准化

– 模块化

– 成膜均匀性高

– 膜厚稳定性高

– 速率稳定性高

核心技术

– 蒸镀模拟技术

– 定制化产品，可配置点源或电子束

– 具备Auto PID，蒸镀稳定，成膜均匀

– log分析技术

– 产品成熟，运营稳定