晶圆盒存储库Stocker

应用场景:广泛应用于半导体芯片生产与封装、硅片制造行业生产线上晶圆盒物流自动存储,作为物料存储空间以平衡各生产工艺设备间的产能差异,可增加无尘室的空间使用率


产品特点



– 振动≤0.35G

– MTBF≥2000HR

– 轻量化结构设计

– 高重复定位精度±1mm

核心技术



– 高洁净设计,实现洁净度 Class100~Class10

– 故障诊断与预测技术

– 振动抑制技术

规格参数



晶圆盒存储库 规格参数
 载重  Max 15Kg
 行走速度  120m/min
 升降速度  100m/min
 取放时间(单次)  3s
 洁净度  Class100~Class10
 振动  ≤0.5G
 噪音 <75dB
 电源  Cableveyor or CPS

规格参数



晶圆盒存储库 规格参数
 载重  Max 15Kg
 行走速度  120m/min
 升降速度  100m/min
 取放时间(单次)  3s
洁净度
Class100~Class10
 振动  ≤ 0.5G
 噪音 <75dB
 电源  Cableveyor or CPS

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