产品与解决方案
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晶圆盒存储库Stocker
应用场景：广泛应用于半导体芯片生产与封装、硅片制造行业生产线上晶圆盒物流自动存储，作为物料存储空间以平衡各生产工艺设备间的产能差异，可增加无尘室的空间使用率
产品特点
– 振动≤0.35G
– MTBF≥2000HR
– 轻量化结构设计
– 高重复定位精度±1mm
核心技术
– 高洁净设计，实现洁净度 Class100~Class10
– 故障诊断与预测技术
– 振动抑制技术
规格参数
| 晶圆盒存储库 | 规格参数 |
| 载重 | Max 15Kg |
| 行走速度 | 120m/min |
| 升降速度 | 100m/min |
| 取放时间(单次） | 3s |
| 洁净度 | Class100~Class10 |
| 振动 | ≤0.5G |
| 噪音 | <75dB |
| 电源 | Cableveyor or CPS |
规格参数
| 晶圆盒存储库 | 规格参数 |
| 载重 | Max 15Kg |
| 行走速度 | 120m/min |
| 升降速度 | 100m/min |
| 取放时间(单次） | 3s |
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洁净度 |
Class100~Class10 |
| 振动 | ≤ 0.5G |
| 噪音 | <75dB |
| 电源 | Cableveyor or CPS |
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