11月13日-14日，2024 SEMI大湾区产业峰会在广州召开，本次峰会由SEMI主办，日程涵盖多个核心主题，包括智能电动汽车芯片、绿色厂务及半导体先进测试技术等，并设有OLED、Mini&Micro LED供应链国际论坛，关注新兴显示技术的进展，以及未来市场趋势。对于显示技术，从原材料到产品出厂的每一关键环节都是与会者关注的焦点。论坛上，合肥欣奕华智能机器股份有限公司（以下简称“合肥欣奕华”）真空镀膜事业部刘总监受邀发表了《OLED蒸镀设备的解决方案》主题演讲。

         随着全球OLED产能重心逐渐向国内转移，OLED设备国产替代迎来了新机遇。国内面板扩产带动设备投资扩张，据数据预测，国内AMOLED产线设备市场投资规模将在2024年到达历史新高约866亿元。在AMOLED工艺制程中，蒸镀是生产制造的核心，直接影响OLED面板良率与质量。

         合肥欣奕华自2015年起布局研发OLED蒸镀设备及关键装置，2017年首台G1 OLED蒸镀设备出货至今，已完成G1和G2.5AMOLED蒸镀机、12寸Micro OLED蒸镀机、点型和线性蒸发源、高精密对位系统等OLED蒸镀设备及关键装置系列产品开发及量产交付，G1和G2.5 OLED蒸镀机可应用于OLED车灯和车显、OLED照明、智能穿戴等小尺寸OLED面板量产，Micro OLED蒸镀机适用于AR/VR近眼显示、智能穿戴等Micro OLED面板量产。合肥欣奕华目前已经完成以下几项关键技术突破：

1）蒸镀膜厚均匀性保证技术：通过创新设计加热机构和冷却单元、开发相关调控装置和控制程序，保证了蒸发温度场的均匀性控制精度，蒸发粒子在材料平衡蒸气压下进行导向性控制，保证了蒸发速率的稳定性。

2）有机材料共蒸分子混合比控制技术：设计了组合型线源模组，进行2-3种不同有机多分子材料（主材和辅材）共蒸。通过多因素控制使主材和辅材按照一定比例在基板上混合沉积，得到主辅材混合比稳定均匀的膜层。

3）有机材料长时间蒸镀裂解变性预防控制技术：通过对蒸发环境的综合控制策略设计，降低有机材料分子碰撞几率，减缓其分解变性程度和时间，以满足生产工艺对连续蒸镀时间和物质纯度的要求。

4）高真空环境下玻璃基板与掩膜版精准自对位技术：设计了大尺寸玻璃基板最小化下垂支持机构、开发了掩膜版与玻璃基板磁力吸附与均匀压合技术，实现高真空环境下大尺寸玻璃基板与掩膜版微米级精准自对位。

         随着国内六代面板产线建设周期进入尾声，高世代产线火热上马，国产设备将会迎来广阔的国产化替代机遇，合肥欣奕华将持续布局研发高世代线OLED蒸镀设备，助力夯实我国在OLED面板生产领域的竞争优势。