2024年4月16-17日,由亚化咨询主办的第六届钙钛矿、异质结与叠层电池论坛在常州成功召开。会议吸引了超过700名业内同仁参加。会上,合肥欣奕华智能机器股份有限公司(下称“合肥欣奕华”)蒸镀事业部刘总监受邀发表了《大面积GW蒸镀技术及应用》的主题演讲。
随着第三代光伏技术钙钛矿的不断发展,蒸镀设备被越来越广泛地应用于钙钛矿生产中,尤其是针对大尺寸的钙钛矿电池片成膜。由于当前各家针对钙钛矿单结工艺技术逐渐趋同,其中吸收层、电子传输层、钝化层均可以使用真空蒸镀方式制备。在谈到晶硅+钙钛矿叠层电池技术路线方面,他提到HJT+钙钛矿叠层电池,由于HJT表面会产生微米级绒毛,导致无法用溶液法直接制备钙钛矿吸收层,一般先采用蒸镀来制备PbI2和CsBr膜层骨架,之后再涂布FAI材料。而C60材料作为良好的电子传输层材料,因无法使用溶液法制备,需要真空蒸镀。因此,钙钛矿叠层电池吸收层、电子传输层、钝化层制备均需要使用真空蒸镀设备。
合肥欣奕华从2015年开始布局真空蒸镀设备研发,拥有丰富的大尺寸真空热蒸发均匀成膜、高精度对位、真空物流传输等多项核心技术开发经验。2021年合肥欣奕华开始布局钙钛矿Inline型蒸镀机研发,攻克了多项大面积钙钛矿成膜关键技术,包括卤化物材料防腐蚀共蒸、近空间高材料利用率、线源长时间稳定化蒸镀、独特无变性坩埚设计等技术,可确保材料稳定蒸镀,获得高结晶和高致密性膜层。合肥欣奕华目前已完成小型到中试到GW级系列钙钛矿蒸镀机开发和量产应用,获得了国内多家龙头客户订单。