蒸镀设备赋能“屏”显世界
发布日期:2023-10-27浏览次数:1491

         近日,由上海湾区高新技术产业开发区、中国光学光电子行业协会液晶分会、中国OLED产业联盟联合主办的第六届“金水湖”论坛暨2023全球AMOLED生态链大会在上海金山假日酒店成功举办。此次大会以“屏行世界·芯动未来”为主题,聚焦AMOLED领域热点话题,汇集政府领导、行业专家及企业高层,共商行业发展。



         在会上,合肥欣奕华智能机器股份有限公司蒸镀事业部张部长做了题为《OLED蒸镀设备国产化进展》的报告。张部长指出,当前新型显示产业从技术、应用、载体多方面进入百花齐放的发展阶段。OLED凭借轻薄、柔性、高刷新率、高色域、高对比、高适应性等优势已经成为智能手机、智能穿戴、车载显示市场新的发展趋势,加上近年来折叠手机迎来市场高爆发时期,OLED渗透率随之大幅增长。根据2022年Omdia 数据,在2017-2022年间,中国OLED产能由0.6平方千米增长至21.8平方千米。国内OLED行业如火如荼发展,但设备国产化率仅30%左右,高技术壁垒设备比重仍需努力突破,尤其是OLED面板量产核心工艺设备—蒸镀机。



         蒸镀机可将有机发光材料精准、均匀地蒸镀到基板上,是保障高精细度显示产品顺利量产的核心要素。但是,这样的核心设备,曾经长时间依赖进口,导致不少国内企业一直被国外企业“卡脖子”。


         合肥欣奕华自2015年就开始专注蒸发源和蒸镀机研发,凭借多年研发设计经验,攻克了OLED蒸镀机膜厚均一性、稳定性和高精密对位技术等难题,2017年成功完成首台G1 OLED蒸镀机(可蒸镀基板尺寸200*200mm)的量产交付。G1 OLED蒸镀机的成功研发,带动了G2.5(可蒸镀基板尺寸370*470mm)OLED蒸镀机及G6H(可蒸镀基板尺寸925*1500mm)蒸镀机关键装置的相继问世。2021年,合肥欣奕华研制交付国内首台硅基蒸镀机,是我国泛半导体领域核心工艺装备自主化道路上的又一里程碑。2022年继续研发完成G8.5蒸发源和对位系统,设备长时间运行稳定、对位精度高、蒸镀均一性高,出色的性能和先进的技术水平在业内赢得了良好的口碑。目前,合肥欣奕华形成了完善的蒸镀机技术研发体系,可以持续为新型显示产品的“智造”工艺创新增添动力。


         对于OLED的未来行业发展,张部长非常看好,他表示合肥欣奕华将基于未来5年OLED市场和技术发展趋势,尤其是硅基和IT大尺寸OLED这两个方向,进行了一些面向未来的产品和技术规划,比如硅基蒸镀技术迭代升级,可满足客户高精密的FMM蒸镀对位精度要求,或者采用CMM蒸镀方式,利用光刻的方式来进行曝光、刻蚀处理。大尺寸蒸镀机及配套蒸发源的开发也是合肥欣奕华的重点,他表示未来OLED显示技术将向着多用途、高性能、低成本的方向发展,蒸镀设备将提升相关技术水平,赋能OLED显示产业更快更好的发展。