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产品特点
– 适用对象：TFT-LCD、LTPS、OLED
– 可检测缺陷：Gate/Cs/Data open/short/cross short
– 即时在线检测
– 模块化设计，标准化CIM通讯软件
– 多轴高精度运动控制技术
– 完全非接触式检测技术
核心技术
– 完全非接触式检测技术
– 高精度运动控制技术
规格参数
|
LCD/OLED面板断路/短路检测设备 |
规格参数 |
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|
缺陷检出率 |
99% |
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检测传感器与玻璃之间的间隙 |
100±10μm |
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各轴的重复定位精度 |
5μm |
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可测试的电子线路最小宽度 |
2μm |
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相邻电子线路之间的间距 |
最小20μm |
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可检测基板厚度 |
最薄0.3mm |
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规格参数
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LCD/OLED面板断路/短路检测设备 |
规格参数 |
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缺陷检出率 |
99% |
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检测传感器与玻璃之间的间隙 |
100±10μm |
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各轴的重复定位精度 |
5μm |
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可测试的电子线路最小宽度 |
2μm |
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相邻电子线路之间的间距 |
最小20μm |
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可检测基板厚度 |
最薄0.3mm |
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