硅基蒸镀设备

应用场景:适用于AR/VR近眼显示、智能穿戴等Micro OLED面板量产


产品特点



– 基板尺寸8英寸和12英寸

– Cluster Type

– 标准化

– 模块化

– 成膜均匀性高

– 光学对位

– 运营稳定

核心技术



– CCD高精密对位技术

– 模块化设计,可以满足客户多样化定制需求

– 高信赖性,可实现长时间稳定稼动生产   



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