自动存储仓库Stocker

应用场景:广泛应用于半导体芯片生产、封装、硅片制造行业核心工艺制程设备之间的晶圆盒搬送和存储


产品特点



– 振动≤0.5G

– MTBF≥2000HR

– Up Time≥99.99%

– 高重复定位精度,±1.0mm

核心技术



– 高洁净设计,实现洁净度 Class 10

– 故障诊断与预测技术

– 振动抑制技术

规格参数



自动存储仓库Stocker 规格参数
 尺寸  300mm FOUP
 载重  Max 15Kg
 行走  电机  交流伺服电机
 方式  轨道 & 轮子
 速度  Max: 120m/min
 加速度  1.5m/s²
 伸出  电机  交流伺服电机
 方式  同步带+ 减速电机
 速度  最大 100m/min
 加速度  2.5m/s²
 旋转  电机  交流伺服电机
 方式  皮带+减速电机
 速度  最大120Deg/sec
 取放装置  电机  交流伺服电机
 方式  SCARA(Belt)
 取放时间  3s
 振动  ≤ 0.5G
 噪音  < 80db
 电源  Cableveyor or CPS

规格参数



半导体仓库Stocker 规格参数
 尺寸  300mm FOUP
 载重  Max 15Kg
 行走  电机  交流伺服电机
 方式  轨道 & 轮子
 速度  Max: 120m/min
 加速度  1.5m/s²
 伸出  电机  交流伺服电机
 方式  同步带+ 减速电机
 速度  最大 100m/min
 加速度  2.5m/s²
 旋转  电机  交流伺服电机
 方式  皮带+减速电机
 速度  最大120Deg/sec
 取放装置  电机  交流伺服电机
 方式  SCARA(Belt)
 取放时间  3s
 振动  ≤ 0.5G
 噪音  < 80db
 电源  Cableveyor or CPS

留言板
留言板