天车OHT

应用场景:广泛应用于半导体芯片生产、封装、硅片制造行业等洁净环境下的物料搬送系统,可实现工艺设备(EQ)、晶圆盒空中缓存(OHB)、晶圆盒存储库(Stocker)之间的物料高效、智能搬送


产品特点



– 全面的防撞与安全连锁

– 高效的动态路径算法

– 高负载、高速度

– 高性能振动抑制与平稳运行

核心技术



– 自主开发的动态路径算法

– 高速高精度走行控制技术

– 轨道汇合点防撞技术

– 抑制振动与Particle技术



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